超導(dǎo)垂直磁場(chǎng)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試儀LH-CRPS-VF是一款無需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)，配±2.5T垂直磁場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)樣品面外增加磁場(chǎng)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是多功能和優(yōu)秀的專業(yè)測(cè)量性能，為制冷劑獲得比較困難和追求操作便利的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。

　　豐富的選件和配置確保科研人員能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測(cè)試測(cè)量。LH-CRPS-VF可實(shí)現(xiàn)最大面外磁場(chǎng)2.5T的情況下，實(shí)施C-V、I-V、微波、霍爾效應(yīng)及磁輸運(yùn)等測(cè)量測(cè)試。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置，確保溫度監(jiān)視和測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度，同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測(cè)試要求中這一點(diǎn)比較重要。

　　LH-CRPS-VF最大可安裝樣品臺(tái)直徑51mm(2in)

超導(dǎo)垂直磁場(chǎng)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試儀

　　探針臺(tái)原理及應(yīng)用

　　德世的低溫探針臺(tái)為材料早期無損電性能測(cè)量提供了一個(gè)精準(zhǔn)的低溫磁場(chǎng)環(huán)境。探針臺(tái)是物理科學(xué)家和研究人員對(duì)材料研究的有利便捷工具、并且測(cè)試測(cè)量重復(fù)性一致性比較好。探針臺(tái)也可以作為一個(gè)靈活多用的公共測(cè)試平臺(tái)。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV和CV曲線、微波測(cè)量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測(cè)試以及其他類型的材料研究。

　　德世低溫探針臺(tái)提供了眾多的測(cè)試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對(duì)應(yīng)型號(hào)，以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺(tái)到專業(yè)平臺(tái)，每個(gè)德世探針臺(tái)都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以確保在整個(gè)溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測(cè)量。

　　特點(diǎn)

　　◆無需消耗制冷劑

　　◆全程無值守降溫

　　◆豐富的選件和配件

　　◆2.5T磁場(chǎng)環(huán)境下實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量

　　◆可實(shí)現(xiàn)霍爾效應(yīng)測(cè)量

　　溫 度 結(jié) 構(gòu)

　　1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)和超導(dǎo)磁體

　　2.獨(dú)立磁體防輻射屏，樣品腔防輻射屏包圍著樣品臺(tái)，頂端帶有可視窗口，紅外吸收石英窗片

　　3.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)，在4.2K時(shí)有1.2W的制冷量

　　磁場(chǎng)：

　　◆磁場(chǎng)類型：超導(dǎo)螺線管磁體

　　◆磁場(chǎng)方向：垂直磁場(chǎng)，垂直于樣品表面

　　◆磁場(chǎng)控制：標(biāo)定電流磁場(chǎng)關(guān)系

　　◆磁感應(yīng)強(qiáng)度：±2.5T

　　◆磁場(chǎng)均勻性：0.5%中心10mm直徑球體;1%中心20mm直徑球體

時(shí)間參數(shù)：

◆抽空時(shí)間：1h(與泵組相關(guān))

◆降溫時(shí)間：從室溫到蕞低溫5h

◆升溫時(shí)間：從蕞低溫到室溫2h

樣品臺(tái)：

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)

◆最大樣品臺(tái)：51mm(2in)

◆樣品臺(tái)背光：無

◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(選配)、接地樣品臺(tái)(標(biāo)配)

探針：

◆探針數(shù)量：最多6個(gè)

◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度：<50K樣品臺(tái)處于蕞低溫度

◆探針熱沉：熱沉到防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測(cè)量

◆光纖探針：用于光電測(cè)量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長(zhǎng)可選

探針位移：

◆X方向行程：50mm,移動(dòng)分辨率3μm

◆Y方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

◆Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

制冷劑消耗：

◆室溫到蕞低溫度：不需要

◆液氦消耗(5K):不需要

◆液氮消耗(80K):不需要

針臺(tái)配置

　　樣品托

　　接地樣品托

　　直接安裝在樣品臺(tái)，盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度，與整個(gè)探針臺(tái)電器接通

　　注：可選圓形和方形，性能無差異

　　同軸樣品托

　　樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室

　　注：可選圓形和方形，性能無差異

　　三同軸樣品托

　　在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護(hù)電壓層，減小漏電流

　　注：可選圓形和方形，性能無差異

樣品托配置

樣品托性能

接口

探針臂配置

德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測(cè)量。

u靈活容易擴(kuò)展的探針集合

u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用

u可以配置在德世任意款探針臺(tái)上

u磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無磁材料針臂

u針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型

探針配置及用途

探針硬件配置

探針性能

探針定位

SMA低溫專用探針

德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專用探針，探針具有強(qiáng)大的通用性，能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針，無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺(tái)